Panasonic-drev + hulakselmotor sikrer lang-, høj-effektivitet og stabil drift.
Hulaksel høj-motorstruktur: Nominel hastighed: 5000 rpm, maksimal hastighed 6000-8000 rpm.
Ultra-hurtig acceleration/decelerationstid: 47750R/S².
Lav støj, lav vibration, akselendeudløbskoefficient så lav som 0,01 mm.
Vakuum hul aksel design og unik aksel ende design sikrer jævn chunk operation.
Motoreffekt: 750/1000W, vand-kølet systemdesign, opfylder kravene til 6-tommer, 8-tommer og 12-tommer wafers.
Tilpasset akselende design er tilgængelig for forskellige brugere.
