Med udviklingen af Kinas halvlederindustri er udviklingen af nøglekomponenter til procesudstyr blevet en kritisk begrænsning for udstyrsudvikling. Efterhånden som opfordringen til lokalisering af indenlandsk halvlederteknologi bliver stærkere, vil flere og flere flaskehalsteknologier i halvlederindustrien blive overvundet. Baseret på mange års erfaring inden for halvlederindustrien har vores virksomhed udviklet en hul-aksel høj-højhastighedsservomotor til adsorbering af wafere i halvlederbelægnings-, udviklings- og rengøringsudstyr. Denne motor har høj acceleration, et bredt hastighedsområde og høj reaktionsevne og er blevet meget rost af kunder i branchen.
Anvendelser af den hule-akselservomotor:
Eksponerings- og fremkaldelsesudstyr (coating, fremkaldelse): Det vigtigste udstyr til fotolitografiprocesser, styring af coating, eksponering og fremkaldelse.
Udstyr til rengøring, coating, fremkaldelse og filmfjernelse.
Velegnet til fysisk skyllerensning, partikelrensning og sprøjteprocesser.
Hulaksel servomotor Produktspecifikationer og anvendelsesområder:
750W/1000W – 5000, 6000 rpm
Anvendelsesområder (avancerede-modeller):
8-tommer og 12-tommer halvlederudstyr.
Processer som coating, fremkaldelse, rengøring og ætsning.
Maksimal acceleration kan nå op på 50.000 R/S² øjeblikkelig acceleration.
Specielt akselendedesign sikrer den laveste akselendebelastningsudløbskoefficient.
